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微电子行业中静电的产生与影响

点击次数:681    发布日期:2014-08-04   本文链接:http://www.pibomo.com/news/308.html

      物体间的摩擦、碰撞、剥离、破裂、感应、极化、吸附等,均可能产生静电;而且很多绝缘体虽然不能导电,却能产生很大的静电(称之为静电导体),这与以往的概念有所不同(例如:人手、玻璃、人发、尼龙、羊毛等,在平常都是绝缘体,但却都是静电导体),这些静电导体得到电子则带负电,失去电子则带正电。国际静电放电协会根据这些绝缘体得到电子或失去电子的能力给出了一个摩擦起电序列表,它们从上到下带正电到负电,这些材料之间相互摩擦即可能产生较高的静电电压,对电子产品的生产制造过程造成较大的危害,排在上面的容易失去电子,排在下面的容易得到电子,由此可以得出结论:同一种材料之间摩擦和碰撞不易产生静电,相隔较远的两种材料摩擦易产生静电。

     静电吸附尘埃对微电子制造行业影响很大,静电放电、静电感应很容易损坏IC 芯片,造成芯片内热二次击穿,金属喷镀熔融,介质击穿,表面击穿,体积击穿等,*后综合表现为功能故障甚至造成人身伤害。据统计,半导体被破坏有59%是由于静电引起(半导体的损坏的形式有两种:灾难性破坏:即器件不能操作约占静电破坏的原件的10%。潜在性破坏:即器件可以操作但性能不稳定,使维修次数增加,约占静电破坏的原件的90%)。


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